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实验扩散炉---高校科研炉-青岛晨立
- 价格¥110000.00/台
- 最小采购量至少1台
- 品牌晨立
- 所在地区山东 青岛 即墨
详细介绍
型号 | CL系列 | 产品别名 | 加热电炉 |
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用途 | 扩散、氧化、退火、合金等工艺 | 适用行业 | 工业 |
产品用途 | 扩散、氧化、退火、合金等工艺 | 规格 | CL4514-3 |
最大电压 | 220V | 重量 | 1000kg |
功率 | 20 | 优势 | 技术力量雄厚,可为客户专业设计打造 |
扩散炉主要满足半导体电力电子器件行业、大功率集成电路等行业,对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。
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主要技术指标:
★可处理硅片尺寸:2—8英寸
★外型形式:卧式1—4管结构
★工作温度:200℃—1300℃
★恒温区长度及精度:200mm—1100mm≤±0.5℃
★单点温度稳定性、重复性:≤±0.5℃/24h
★温度斜变:可控升温速率20℃/min,
★可控降温速率:5℃/min
★送片装置:全自动悬臂推拉舟、拉杆是推拉舟、手动推拉
★气路系统:1—5路工艺气体/管
★气体控制:全自动MFC、手动浮子流量计
★控制方式:工控机、触摸屏