 | 青岛晨立电子有限公司主营产品：扩散炉,炉体,链式炉,真空炉,烧结炉,半导体扩散炉,氢氧点火器,点火炉,异型加热器 |
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产品展示
扩散炉--两管扩散炉--青岛晨立电子
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- 价格￥58000.00/台
- 最小采购量至少1台
- 品牌晨立
- 所在地区山东 青岛 即墨
详细介绍
| 型号 | CL4514-2 | 产品别名 | 扩散炉 |
|---|---|---|---|
| 用途 | 扩散、氧化、退火、合金等工艺 | 适用行业 | 电力电子器件、玻封二级管、热敏电阻等器件 |
| 产品用途 | 对所加工硅片进行扩散等工艺 | 规格 | 定制 |
| 工作温度 | 200℃—1300℃ | 可控降温速率 | 5℃／min |
| 控制方式 | 工控机、触摸屏 |
两管扩散炉
外型形式：
卧式2管结构扩散炉主要满足半导体电力电子器件行业、大功率集成电路等行业，对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。
技术指标： 可处理硅片尺寸：2—8英寸
工作温度：200℃—1300℃
恒温区长度及精度：200mm—100mm≤±0.5℃
单点温度稳定性、重复性：≤±1.5℃／24h
温度斜变：可控升温速率20℃／min，
可控降温速率：5℃／min
送片装置：全自动悬臂推拉舟、拉杆是推拉舟、手动推拉
气路系统：1—5路工艺气体／管
气体控制：全自动MFC、手动浮子流量计
控制方式：工控机、触摸屏
外型形式：
卧式2管结构扩散炉主要满足半导体电力电子器件行业、大功率集成电路等行业，对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。
技术指标： 可处理硅片尺寸：2—8英寸
工作温度：200℃—1300℃
恒温区长度及精度：200mm—100mm≤±0.5℃
单点温度稳定性、重复性：≤±1.5℃／24h
温度斜变：可控升温速率20℃／min，
可控降温速率：5℃／min
送片装置：全自动悬臂推拉舟、拉杆是推拉舟、手动推拉
气路系统：1—5路工艺气体／管
气体控制：全自动MFC、手动浮子流量计
控制方式：工控机、触摸屏