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程控高低温扩散炉-扩散炉定制 青岛晨立电子
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- 价格￥68000.00/台
- 最小采购量至少1台
- 品牌晨立
- 所在地区山东 青岛 即墨
详细介绍
| 型号 | cl | 加工定制 | 是 |
|---|---|---|---|
| 用途 | 对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金 | 别名 | 扩散炉 |
| 工作温度 | 200-1300 | 可处理硅片尺寸 | 2-8英寸 |
| 结构 | 1-4管 |
程控高低温扩散炉
外型形式：卧式1—4管结构 程控高低温 扩散炉主要满足半导体电力电子器件行业、大功率集成电路等行业，对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。
主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。
技术指标：
可处理硅片尺寸：2—8英寸
工作温度：200℃—1300℃
恒温区长度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃
单点温度稳定性、重复性：≤±1.5℃／24h
温度斜变：可控升温速率20℃／min，可控降温速率：5℃／min
送片装置：全自动悬臂推拉舟、拉杆是推拉舟、手动推拉
气路系统：1—5路工艺气体／管
气体控制：全自动MFC、手动浮子流量计
控制方式：工控机、触摸屏
外型形式：卧式1—4管结构 程控高低温 扩散炉主要满足半导体电力电子器件行业、大功率集成电路等行业，对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。
主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。
技术指标：
可处理硅片尺寸：2—8英寸
工作温度：200℃—1300℃
恒温区长度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃
单点温度稳定性、重复性：≤±1.5℃／24h
温度斜变：可控升温速率20℃／min，可控降温速率：5℃／min
送片装置：全自动悬臂推拉舟、拉杆是推拉舟、手动推拉
气路系统：1—5路工艺气体／管
气体控制：全自动MFC、手动浮子流量计
控制方式：工控机、触摸屏
