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高校实验炉 科研退火炉 青岛晨立 扩散炉
- 价格¥60000.00/台
- 最小采购量至少1台
- 品牌晨立
- 所在地区山东 青岛 即墨
详细介绍
型号 | CL | 加工定制 | 是 |
---|---|---|---|
用途 | 扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺 | 别名 | 扩散炉 |
规格 | CL-4514-1 | 使用温度 | 1200℃ |
电压 | 380 | 电流 | 24 |
适用行业 | 工业 |
科研炉是半导体加工中的典型热处理设备,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
主要技术参数:
◆工艺管数量:1-4管
◆工艺管口径:Φ90-360mm(3~12英寸)
◆工作温度范围:400~1280℃
◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm
◆工艺均匀性:≤±5%(30~60欧姆)
◆结构型式:卧式热壁型
◆气体流量设定精度:±1%F.S
◆气路系统气密性: 1×10-7pa.m3/s
◆超净工作台:净化等级:100级(万级厂房)噪音:≤62dB(A)震动:≤3μm
◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制
◆控制方式: 工业微机控制